SemiceraSilisiumkarbid keramisk belegger et høyytelses beskyttende belegg laget av ekstremt hardt og slitesterkt silisiumkarbidmateriale (SiC). Belegget avsettes vanligvis på overflaten av underlaget ved CVD- eller PVD-prosess medsilisiumkarbidpartikler, gir utmerket kjemisk korrosjonsbestandighet og høy temperaturstabilitet. Derfor er silisiumkarbidkeramisk belegg mye brukt i nøkkelkomponenter i halvlederproduksjonsutstyr.
I halvlederproduksjon,SiC beleggtåler ekstremt høye temperaturer på opptil 1600°C, så Silicon Carbide Ceramic Coating brukes ofte som et beskyttende lag for utstyr eller verktøy for å forhindre skade i høye temperaturer eller korrosive miljøer.
Samtidig,silisiumkarbid keramisk beleggkan motstå erosjon av syrer, alkalier, oksider og andre kjemiske reagenser, og har høy korrosjonsbestandighet mot en rekke kjemiske stoffer. Derfor er dette produktet egnet for ulike korrosive miljøer i halvlederindustrien.
I tillegg, sammenlignet med andre keramiske materialer, har SiC høyere varmeledningsevne og kan effektivt lede varme. Denne funksjonen bestemmer at i halvlederprosesser som krever nøyaktig temperaturkontroll, er den høye varmeledningsevnen tilSilisiumkarbid keramisk beleggbidrar til å spre varmen jevnt, forhindre lokal overoppheting og sikre at enheten fungerer ved optimal temperatur.
| Grunnleggende fysiske egenskaper av CVD sic belegg | |
| Eiendom | Typisk verdi |
| Krystallstruktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert |
| Tetthet | 3,21 g/cm³ |
| Hardhet | 2500 Vickers hardhet (500 g belastning) |
| Kornstørrelse | 2~10μm |
| Kjemisk renhet | 99,99995 % |
| Varmekapasitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| Bøyestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
| Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃ |
| Termisk ledningsevne | 300 W·m-1·K-1 |
| Termisk ekspansjon (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
