SiC-belagt Susceptor For dyp UV-LED

Kort beskrivelse:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. er en ledende leverandør av avansert halvlederkeramikk.Våre hovedprodukter inkluderer: silisiumkarbid etsede skiver, silisiumkarbid båthengere, silisiumkarbid waferskip (PV & Semiconductor), silisiumkarbid ovnsrør, silisiumkarbid utkragende skovler, silisiumkarbid chuck, silisiumkarbid bjelker, samt CVD SiC belegg. TaC-belegg.

Produktene brukes hovedsakelig i halvleder- og fotovoltaisk industri, som krystallvekst, epitaksi, etsing, emballasje, belegg og diffusjonsovnsutstyr.

 

Produkt detalj

Produktetiketter

Beskrivelse

Vårt firma tilbyr SiC-beleggingsprosesstjenester etter CVD-metode på overflaten av grafitt, keramikk og andre materialer, slik at spesielle gasser som inneholder karbon og silisium reagerer ved høy temperatur for å oppnå høy renhet SiC-molekyler, molekyler avsatt på overflaten av de belagte materialene, danner SIC-beskyttelseslag.

6

UV-LED-1

UV-LED-2

Hovedtrekkene

1. Høytemperatur-oksidasjonsmotstand: oksidasjonsmotstanden er fortsatt veldig god når temperaturen er så høy som 1600 C.
2. Høy renhet: laget av kjemisk dampavsetning under høytemperatur kloreringsbetingelser.
3. Erosjonsbestandighet: høy hardhet, kompakt overflate, fine partikler.
4. Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg

SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur FCC β-fase
Tetthet g/cm³ 3.21
Hardhet Vickers hardhet 2500
Korn størrelse μm 2~10
Kjemisk renhet % 99,99995
Varmekapasitet J·kg-1 ·K-1 640
Sublimeringstemperatur 2700
Feleksural styrke MPa (RT 4-punkts) 415
Youngs modul Gpa (4pt bøy, 1300 ℃) 430
Termisk ekspansjon (CTE) 10-6K-1 4.5
Termisk ledningsevne (W/mK) 300
Semicera Arbeidsplass
Semicera arbeidsplass 2
Utstyr maskin
CNN-behandling, kjemisk rengjøring, CVD-belegg
Vår service

  • Tidligere:
  • Neste: