Semicera sinSiC padlerer konstruert for minimal termisk ekspansjon, og gir stabilitet og presisjon i prosesser der dimensjonsnøyaktighet er kritisk. Dette gjør dem ideelle for applikasjoner hvoroblaterutsettes for gjentatte oppvarmings- og avkjølingssykluser, ettersom waferbåten opprettholder sin strukturelle integritet, noe som sikrer jevn ytelse.
Inkorporerer Semicera'ssilisiumkarbid diffusjonspadlerinn i produksjonslinjen vil forbedre prosessens pålitelighet, takket være deres overlegne termiske og kjemiske egenskaper. Disse padlene er perfekte for diffusjons-, oksidasjons- og utglødningsprosesser, og sikrer at wafere håndteres med forsiktighet og presisjon gjennom hvert trinn.
Innovasjon er kjernen i SemiceraSiC-åredesign. Disse padlene er skreddersydd for å passe sømløst inn i eksisterende halvlederutstyr, og gir økt håndteringseffektivitet. Den lette strukturen og ergonomiske designen forbedrer ikke bare wafertransporten, men reduserer også driftsstans, noe som resulterer i strømlinjeformet produksjon.
| Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid | |
| Eiendom | Typisk verdi |
| Arbeidstemperatur (°C) | 1600°C (med oksygen), 1700°C (reduserende miljø) |
| SiC innhold | > 99,96 % |
| Gratis Si-innhold | < 0,1 % |
| Bulk tetthet | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Tilsynelatende porøsitet | < 16 % |
| Kompresjonsstyrke | > 600 MPa |
| Kald bøyestyrke | 80–90 MPa (20 °C) |
| Varmbøyningsstyrke | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Termisk ekspansjon @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Termisk ledningsevne @1200°C | 23 W/m•K |
| Elastisk modul | 240 GPa |
| Motstand mot termisk sjokk | Ekstremt bra |
