Beskrivelse
MOCVD substratvarmer, varmeelementer for MOCVD
Grafittvarmer:
Grafittvarmerkomponentene brukes i høytemperaturovnen med temperaturen nådd 2200 grader ved vakuummiljø og 3000 grader i det deoksiderte og innsatte gassmiljøet.
Hovedtrekkene til grafittvarmeren
1. jevnhet av varmestruktur.
2. god elektrisk ledningsevne og høy elektrisk belastning.
3. korrosjonsbestandighet.
4. inoksiderbarhet.
5. høy kjemisk renhet.
6. høy mekanisk styrke.
Fordelen er energieffektiv, høy verdi og lite vedlikehold.
Vi kan produsere antioksidasjons- og grafittdigel med lang levetid, grafittform og alle deler av grafittvarmer.
Kjemisk grafitt
Fordel: Høy temperaturmotstand
Bruksområde: MOCVD / Vakuumovn / Hot Zone
Bulkdensitet: 1,68-1,91 g/cm3
Bøyestyrke: 30-46Mpa
Resistivitet:7-12μΩm
Hovedparametre for grafittvarmer
| Teknisk spesifikasjon | VET-M3 |
| Bulkdensitet (g/cm3) | ≥1,85 |
| Askeinnhold (PPM) | ≤500 |
| Shore hardhet | ≥45 |
| Spesifikk motstand (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Flexural Strength (Mpa) | ≥40 |
| Kompressiv styrke (Mpa) | ≥70 |
| Maks. Kornstørrelse (μm) | ≤43 |
| Koeffisient for termisk ekspansjon Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Grafittvarmer for elektrisk ovn har egenskaper som varmebestandighet, oksidasjonsmotstand, god elektrisk ledningsevne og bedre mekanisk intensitet. Vi kan maskinere ulike typer grafittvarmere i henhold til kundenes design.
Bedriftsprofil
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. er en ledende leverandør av avansert halvlederkeramikk og den eneste produsenten i Kina som samtidig kan tilby høyrent silisiumkarbidkeramikk (spesielt omkrystallisert SiC) og CVD SiC-belegg. I tillegg er selskapet vårt også forpliktet til keramiske felt som alumina, aluminiumnitrid, zirkoniumoksid og silisiumnitrid, etc.
Våre hovedprodukter inkluderer: silisiumkarbid etseskive, silisiumkarbid båtsleep, silisiumkarbid wafer båt (fotovoltaisk og halvleder), silisiumkarbid ovnsrør, silisiumkarbid cantilever padle, silisium karbid chucker, silisium karbid bjelken, samt Ta CVD SiC belegg, samt Ta CVD belegg. belegg. Produktene som hovedsakelig brukes i halvleder- og fotovoltaisk industri, som utstyr for krystallvekst, epitaksi, etsing, emballasje, belegg og diffusjonsovner, etc.
Vårt firma har det komplette produksjonsutstyret som støping, sintring, prosessering, belegningsutstyr, etc., som kan fullføre alle nødvendige koblinger for produktproduksjon og ha høyere kontrollerbarhet av produktkvalitet; Den optimale produksjonsplanen kan velges i henhold til produktets behov, noe som resulterer i lavere kostnader og gir kundene mer konkurransedyktige produkter; Vi kan fleksibelt og effektivt planlegge produksjon basert på ordreleveringskrav og i forbindelse med online ordrestyringssystemer, noe som gir kundene raskere og mer garantert leveringstid.
