Tynne filmer som brukes i halvlederproduksjon har alle motstand, og filmmotstand har en direkte innvirkning på ytelsen til enheten.Vi måler vanligvis ikke den absolutte motstanden til filmen, men bruker arkmotstanden for å karakterisere den.
Hva er arkmotstand og volumresistivitet?
Volumresistivitet, også kjent som volumresistivitet, er en iboende egenskap til et materiale som kjennetegner hvor mye materialet hindrer flyten av elektrisk strøm.Vanlig brukt symbol ρ representerer, enheten er Ω.
Arkmotstand, også kjent som arkmotstand, det engelske navnet er arkmotstand, som refererer til motstandsverdien til filmen per arealenhet.Ofte brukte symboler Rs eller ρs for å uttrykke, enheten er Ω/sq eller Ω/□
Forholdet mellom de to er: arkmotstand = volumresistivitet/filmtykkelse, det vil si Rs =ρ/t
Hvorfor måle arkmotstand?
Å måle den absolutte motstanden til en film krever nøyaktig kunnskap om filmens geometriske dimensjoner (lengde, bredde, tykkelse), som har mange variabler og er svært kompleks for svært tynne eller uregelmessig formede filmer.Arkmotstanden er kun relatert til tykkelsen på filmen og kan testes raskt og direkte uten kompliserte størrelsesberegninger.
Hvilke filmer trenger for å måle arkmotstand?
Generelt må ledende filmer og halvlederfilmer måles for kvadratisk motstand, mens isolasjonsfilmer ikke trenger å måles.
Ved halvlederdoping måles også arkmotstanden til silisium.
Hvordan måle kvadratresistans?
Fire-probe-metoden brukes generelt i industrien.Fire-probe-metoden kan måle kvadratresistans fra 1E-3 til 1E+9Ω/sq.Fire-probe-metoden kan unngå målefeil på grunn av kontaktmotstand mellom sonden og prøven.
Målemetoder:
1) Sett fire lineært arrangerte prober på overflaten av prøven.
2) Legg på en konstant strøm mellom de to ytre sondene.
3) Bestem motstanden ved å måle potensialforskjellen mellom de to interne probene
RS : arkmotstand
ΔV: Endring i spenning målt mellom interne prober
I : Strøm påført mellom ytre prober
Innleggstid: 29. mars 2024