Wafer håndteringsarmer et nøkkelutstyr som brukes i halvlederproduksjonsprosessen for å håndtere, overføre og plassereoblater. Den består vanligvis av en robotarm, en griper og et kontrollsystem, med presise bevegelses- og posisjoneringsevner.Waferhåndteringsarmerer mye brukt i ulike ledd i halvlederproduksjon, inkludert prosesstrinn som waferlasting, rengjøring, tynnfilmavsetning, etsing, litografi og inspeksjon. Dens presisjon, pålitelighet og automatiseringsevne er avgjørende for å sikre kvaliteten, effektiviteten og konsistensen i produksjonsprosessen.
Hovedfunksjonene til waferhåndteringsarmen inkluderer:
1. Waferoverføring: Waferhåndteringsarmen er i stand til nøyaktig å overføre wafere fra ett sted til et annet, for eksempel å ta wafere fra et lagringsstativ og plassere dem i en prosesseringsenhet.
2. Plassering og orientering: Waferhåndteringsarmen er i stand til å posisjonere og orientere waferen nøyaktig for å sikre riktig justering og posisjon for påfølgende prosesserings- eller måleoperasjoner.
3. Klemming og frigjøring: Waferhåndteringsarmer er vanligvis utstyrt med gripere som trygt kan klemme wafere og frigjøre dem ved behov for å sikre sikker overføring og håndtering av wafere.
4. Automatisert kontroll: Waferhåndteringsarmen er utstyrt med et avansert kontrollsystem som automatisk kan utføre forhåndsbestemte handlingssekvenser, forbedre produksjonseffektiviteten og redusere menneskelige feil.
Egenskaper og fordeler
1. Nøyaktige dimensjoner og termisk stabilitet.
2.Høy spesifikk stivhet og utmerket termisk jevnhet, langvarig bruk er ikke lett å bøye deformasjon.
3. Den har en glatt overflate og god slitestyrke, og håndterer dermed brikken trygt uten partikkelforurensning.
4. Silisiumkarbidresistivitet i 106-108Ω, ikke-magnetisk, i tråd med anti-ESD-spesifikasjonskrav; Det kan forhindre akkumulering av statisk elektrisitet på overflaten av brikken.
5. God varmeledningsevne, lav ekspansjonskoeffisient.
