Semicera introdusererWafer Cassette Carrier, en kritisk løsning for sikker og effektiv håndtering av halvlederskiver. Denne bæreren er konstruert for å møte de strenge kravene til halvlederindustrien, og sikrer beskyttelsen og integriteten til dine wafere gjennom hele produksjonsprosessen.
Nøkkelfunksjoner:
•Robust konstruksjon:DeWafer Cassette Carrierer bygget av høykvalitets, slitesterke materialer som tåler påkjenningene i halvledermiljøer, og gir pålitelig beskyttelse mot forurensning og fysisk skade.
•Nøyaktig justering:Designet for presis waferjustering, sørger denne bæreren for at wafere holdes sikkert på plass, og minimerer risikoen for feiljustering eller skade under transport.
•Enkel håndtering:Ergonomisk utformet for enkel bruk, forenkler bæreren laste- og losseprosessen, og forbedrer arbeidsflyteffektiviteten i renromsmiljøer.
•Kompatibilitet:Kompatibel med et bredt spekter av waferstørrelser og -typer, noe som gjør den allsidig for ulike behov for halvlederproduksjon.
Opplev uovertruffen beskyttelse og bekvemmelighet med Semicera'sWafer Cassette Carrier. Vår bærer er designet for å møte de høyeste standardene for halvlederproduksjon, og sikrer at skivene dine forblir i perfekt stand fra start til slutt. Stol på Semicera for å levere kvaliteten og påliteligheten du trenger for dine mest kritiske prosesser.
| Varer | Produksjon | Forske | Dummy |
| Krystallparametere | |||
| Polytype | 4H | ||
| Overflateorienteringsfeil | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriske parametere | |||
| Dopant | n-type nitrogen | ||
| Resistivitet | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mekaniske parametere | |||
| Diameter | 150,0±0,2 mm | ||
| Tykkelse | 350±25 μm | ||
| Primær flat orientering | [1-100]±5° | ||
| Primær flat lengde | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekundærleilighet | Ingen | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bue | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Forside (Si-face) ruhet (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Mikrorørtetthet | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 e/cm2 |
| Metallurenheter | ≤5E10atomer/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Frontkvalitet | |||
| Front | Si | ||
| Overflatefinish | Si-face CMP | ||
| Partikler | ≤60ea/wafer (størrelse≥0,3μm) | NA | |
| Riper | ≤5ea/mm. Kumulativ lengde ≤Diameter | Kumulativ lengde≤2*Diameter | NA |
| Appelsinskall/groper/flekker/striper/ sprekker/forurensning | Ingen | NA | |
| Kantspon/innrykk/brudd/hex-plater | Ingen | ||
| Polytype områder | Ingen | Akkumulert areal≤20 % | Akkumulert areal≤30 % |
| Lasermerking foran | Ingen | ||
| Ryggkvalitet | |||
| Avslutning bak | C-ansikt CMP | ||
| Riper | ≤5ea/mm, Kumulativ lengde≤2*Diameter | NA | |
| Ryggdefekter (kantskår/innrykk) | Ingen | ||
| Ruhet i ryggen | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasermerking bak | 1 mm (fra øvre kant) | ||
| Kant | |||
| Kant | Chamfer | ||
| Emballasje | |||
| Emballasje | Epi-klar med vakuumemballasje Multi-wafer kassettemballasje | ||
| *Merknader: "NA" betyr ingen forespørsel. Elementer som ikke er nevnt kan referere til SEMI-STD. | |||
