Tantalkarbidbelagt susceptorstøtteplateer en susceptor eller støttestruktur som er dekket med et tynt lag avtantalkarbid. Dette belegget kan dannes på susceptoroverflaten ved hjelp av teknikker som fysisk dampavsetning (PVD) eller kjemisk dampavsetning (CVD), som gir susceptoren de overlegne egenskapene tiltantalkarbid.
Semicera leverer spesialiserte tantalkarbid (TaC) belegg for ulike komponenter og bærere.Semicera ledende belegningsprosess gjør det mulig for tantalkarbid (TaC)-belegg å oppnå høy renhet, høy temperaturstabilitet og høy kjemisk toleranse, noe som forbedrer produktkvaliteten til SIC/GAN-krystaller og EPI-lag (Grafittbelagt TaC-susceptor), og forlenge levetiden til nøkkelreaktorkomponenter. Bruken av tantalkarbid-TAC-belegg er å løse kantproblemet og forbedre kvaliteten på krystallvekst, og Semicera har gjennombrudd løst tantalkarbidbeleggteknologien (CVD), og nådde det internasjonale avanserte nivået.
Etter år med utvikling har Semicera erobret teknologien tilCVD TaCmed felles innsats fra FoU-avdelingen. Defekter er lett å oppstå i vekstprosessen til SiC-skiver, men etter brukTaC, forskjellen er betydelig. Nedenfor er en sammenligning av wafere med og uten TaC, samt Simiceras deler for enkeltkrystallvekst.
Hovedtrekkene til tantalkarbidbelagte bunnstøtteplater inkluderer:
1. Høytemperaturstabilitet: Tantalkarbid har utmerket høytemperaturstabilitet, noe som gjør den belagte bunnstøtteplaten egnet for støttebehov i arbeidsmiljøer med høy temperatur.
2. Korrosjonsbestandighet: Tantalkarbidbelegg har god korrosjonsbestandighet, kan motstå kjemisk korrosjon og oksidasjon, og forlenge levetiden til basen.
3. Høy hardhet og slitestyrke: Den høye hardheten til tantalkarbidbelegget gir grunnstøtteplaten god slitestyrke, som er egnet for anledninger som krever høy slitestyrke.
4. Kjemisk stabilitet: Tantalkarbid har høy stabilitet mot en rekke kjemiske stoffer, noe som gjør at den belagte bunnstøtteplaten fungerer godt i enkelte korrosive miljøer.
med og uten TaC
Etter bruk av TaC (høyre)
Dessuten SemicerasTaC-belagte produkterviser lengre levetid og større motstand mot høye temperaturer sammenlignet medSiC-belegg.Laboratoriemålinger har vist at vårTaC-beleggkan konsekvent fungere ved temperaturer opp til 2300 grader Celsius i lengre perioder. Nedenfor er noen eksempler på våre eksempler:
