Tantalkarbidbelagt grafittplateer et grafittmateriale med et tynt lag avtantalkarbidpå overflaten av underlaget. Det tynne laget av tantalkarbid dannes vanligvis på overflaten av grafittsubstratet ved hjelp av teknikker som fysisk dampavsetning (PVD) eller kjemisk dampavsetning (CVD). Dette belegget har utmerkede egenskaper som høy hardhet, utmerket slitestyrke, korrosjonsbestandighet og høy temperaturstabilitet.
Semicera leverer spesialiserte tantalkarbid (TaC) belegg for ulike komponenter og bærere.Semicera ledende belegningsprosess gjør det mulig for tantalkarbid (TaC)-belegg å oppnå høy renhet, høy temperaturstabilitet og høy kjemisk toleranse, noe som forbedrer produktkvaliteten til SIC/GAN-krystaller og EPI-lag (Grafittbelagt TaC-susceptor), og forlenge levetiden til nøkkelreaktorkomponenter. Bruken av tantalkarbid-TAC-belegg er å løse kantproblemet og forbedre kvaliteten på krystallvekst, og Semicera har gjennombrudd løst tantalkarbidbeleggteknologien (CVD), og nådde det internasjonale avanserte nivået.
Etter år med utvikling har Semicera erobret teknologien tilCVD TaCmed felles innsats fra FoU-avdelingen. Defekter er lett å oppstå i vekstprosessen til SiC-skiver, men etter brukTaC, forskjellen er betydelig. Nedenfor er en sammenligning av wafere med og uten TaC, samt Simiceras deler for enkeltkrystallvekst.
De viktigste fordelene med tantalkarbidbelagt grafittplate inkluderer:
1. Høytemperaturmotstand: Tantalkarbid har et høyt smeltepunkt og utmerket høytemperaturstabilitet, noe som gjør det belagte grafittarket egnet for bruk i høytemperaturmiljøer.
2. Korrosjonsbestandighet: Tantalkarbidbelegg kan motstå erosjon av mange kjemiske etsende stoffer og forlenge materialets levetid.
3. Høy hardhet: Den høye hardheten til det tynne laget av tantalkarbid gir god slitestyrke og er egnet for bruksområder som krever høy slitestyrke.
4. Kjemisk stabilitet: Tantalkarbidbelegg har utmerket stabilitet mot kjemisk korrosjon og er egnet for bruk i enkelte korrosive medier.
med og uten TaC
Etter bruk av TaC (høyre)
Dessuten SemicerasTaC-belagte produkterviser lengre levetid og større motstand mot høye temperaturer sammenlignet medSiC-belegg.Laboratoriemålinger har vist at vårTaC-beleggkan konsekvent fungere ved temperaturer opp til 2300 grader Celsius i lengre perioder. Nedenfor er noen eksempler på våre eksempler:
