Semicera leverer spesialiserte tantalkarbid (TaC) belegg for ulike komponenter og bærere.Semicera ledende belegningsprosess gjør det mulig for tantalkarbid (TaC)-belegg å oppnå høy renhet, høy temperaturstabilitet og høy kjemisk toleranse, noe som forbedrer produktkvaliteten til SIC/GAN-krystaller og EPI-lag (Grafittbelagt TaC-susceptor), og forlenge levetiden til nøkkelreaktorkomponenter. Bruken av tantalkarbid-TAC-belegg er å løse kantproblemet og forbedre kvaliteten på krystallvekst, og Semicera har gjennombrudd løst tantalkarbidbeleggteknologien (CVD), og nådde det internasjonale avanserte nivået.
Tantalkarbidbelagte waferbærere er mye brukt i waferbehandling og håndteringsprosesser i halvlederproduksjonsprosesser. De gir stabil støtte og beskyttelse for å sikre sikkerheten, nøyaktigheten og konsistensen til wafere under produksjonsprosessen. Tantalkarbidbelegg kan forlenge levetiden til bæreren, redusere kostnadene og forbedre kvaliteten og påliteligheten til halvlederprodukter.
Beskrivelse av tantalkarbidbelagt waferbærer er som følger:
1. Materialvalg: Tantalkarbid er et materiale med utmerket ytelse, høy hardhet, høyt smeltepunkt, korrosjonsmotstand og utmerkede mekaniske egenskaper, så det er mye brukt i halvlederproduksjonsprosessen.
2. Overflatebelegg: Tantalkarbidbelegg påføres overflaten av waferbæreren gjennom en spesiell belegningsprosess for å danne et jevnt og tett tantalkarbidbelegg. Dette belegget kan gi ekstra beskyttelse og slitestyrke, samtidig som det har god varmeledningsevne.
3. Flathet og presisjon: Tantalkarbidbelagt waferbærer har en høy grad av flathet og presisjon, noe som sikrer stabiliteten og nøyaktigheten til wafere under produksjonsprosessen. Flatheten og finishen på bæreroverflaten er avgjørende for å sikre kvaliteten og ytelsen til waferen.
4. Temperaturstabilitet: Tantalkarbidbelagte waferbærere kan opprettholde stabilitet i høytemperaturmiljøer uten deformasjon eller løsne, noe som sikrer stabiliteten og konsistensen til wafere i høytemperaturprosesser.
5. Korrosjonsbestandighet: Tantalkarbidbelegg har utmerket korrosjonsbestandighet, kan motstå erosjon av kjemikalier og løsemidler, og beskytter bæreren mot væske- og gasskorrosjon.
med og uten TaC
Etter bruk av TaC (høyre)
Dessuten SemicerasTaC-belagte produkterviser lengre levetid og større motstand mot høye temperaturer sammenlignet medSiC-belegg.Laboratoriemålinger har vist at vårTaC-beleggkan konsekvent fungere ved temperaturer opp til 2300 grader Celsius i lengre perioder. Nedenfor er noen eksempler på våre eksempler:
