TaC Coated Plate er en spesialisert plate designet for bruk i SiC epitaksiale prosesser, laget med presisjon fra høykvalitets grafittmateriale. Overflaten er omhyggelig belagt med tantalkarbid (TaC), en forbindelse kjent for sin eksepsjonelle renhet og styrke. TaC-belegget forbedrer platens holdbarhet og motstand mot høye temperaturer, noe som gjør den ideell for de krevende forholdene til SiC epitaksiale prosesser.
Denne innovative TaC Coated Plate er en spesialisert plate designet for bruk i SiC epitaksiale prosesser, laget med presisjon fra høykvalitets grafittmateriale. TaC Coated Plate-overflaten er omhyggelig belagt med tantalkarbid (TaC), en forbindelse kjent for sin eksepsjonelle renhet og styrke. fungerer som en pålitelig plattform for å bære wafere under ulike stadier av SiC epitaksial vekst. Dens høyrente grafittbase gir en stabil og inert overflate, mens TaC-belegget gir et ekstra lag med beskyttelse mot kjemiske reaksjoner og slitasje.
SemicæraTaC Coated Plate er tilpasset i henhold til kundenes spesifikke krav, og sikrer optimal ytelse og kompatibilitet med deres SiC epitaksiale systemer. Enten det er størrelse, form eller andre spesifikasjoner, er disse platene skreddersydd for å møte de unike behovene til enhver applikasjon.
med og uten TaC
Etter bruk av TaC (høyre)
Dessuten SemicerasTaC-belagte produkterviser lengre levetid og større motstand mot høye temperaturer sammenlignet medSiC-belegg.Laboratoriemålinger har vist at vårTaC-beleggkan konsekvent fungere ved temperaturer opp til 2300 grader Celsius i lengre perioder. Nedenfor er noen eksempler på våre eksempler:
