TaC-belagte grafittstyreringerreferer til avsetningen av et tynt lag avtantalkarbidpå overflaten av en grafittstyrering for å forbedre slitestyrken, høy temperaturbestandighet og kjemisk stabilitet. Dette belegget er vanligvis dannet på overflaten av en grafittstyrering ved teknikker som fysisk dampavsetning (PVD) eller kjemisk dampavsetning (CVD).
Semicera leverer spesialiserte tantalkarbid (TaC) belegg for ulike komponenter og bærere.Semicera ledende belegningsprosess gjør det mulig for tantalkarbid (TaC)-belegg å oppnå høy renhet, høy temperaturstabilitet og høy kjemisk toleranse, noe som forbedrer produktkvaliteten til SIC/GAN-krystaller og EPI-lag (Grafittbelagt TaC-susceptor), og forlenge levetiden til nøkkelreaktorkomponenter. Bruken av tantalkarbid-TAC-belegg er å løse kantproblemet og forbedre kvaliteten på krystallvekst, og Semicera har gjennombrudd løst tantalkarbidbeleggteknologien (CVD), og nådde det internasjonale avanserte nivået.
Etter år med utvikling har Semicera erobret teknologien tilCVD TaCmed felles innsats fra FoU-avdelingen. Defekter er lett å oppstå i vekstprosessen til SiC-skiver, men etter brukTaC, forskjellen er betydelig. Nedenfor er en sammenligning av wafere med og uten TaC, samt Simiceras deler for enkeltkrystallvekst.
Hovedtrekkene til TaC-belagte grafittstyreringer inkluderer:
1. Høytemperaturmotstand: TaC-belegg har utmerket høytemperaturstabilitet og kan opprettholde stabilitet i høytemperaturmiljøer.
2. Slitestyrke: Den høye hardheten til det tynne laget av tantalkarbid gir føringsringen god slitestyrke og forlenger levetiden.
3. Kjemisk stabilitet: TaC-belegg har høy stabilitet mot kjemisk korrosjon, noe som gjør det egnet for bruk i enkelte korrosive medier.
4. Reduser friksjon: TaC-belegg kan effektivt redusere friksjonen mellom grafittføringsringen og andre komponenter og forbedre effektiviteten til mekaniske tetninger.
med og uten TaC
Etter bruk av TaC (høyre)
Dessuten SemicerasTaC-belagte produkterviser lengre levetid og større motstand mot høye temperaturer sammenlignet medSiC-belegg.Laboratoriemålinger har vist at vårTaC-beleggkan konsekvent fungere ved temperaturer opp til 2300 grader Celsius i lengre perioder. Nedenfor er noen eksempler på våre eksempler:
