Silisiumimpregnert silisiumkarbid (SiC) padle og waferholder

Kort beskrivelse:

Silisiumimpregnert silisiumkarbid (SiC) Paddle and Wafer Carrier er et høyytelses komposittmateriale dannet ved å infiltrere silisium i en rekrystallisert silisiumkarbidmatrise og gjennomgå spesiell behandling. Dette materialet kombinerer den høye styrken og høytemperaturtoleransen til rekrystallisert silisiumkarbid med den forbedrede ytelsen til silisiuminfiltrasjon, og viser utmerket ytelse under ekstreme forhold. Det er mye brukt innen halvledervarmebehandling, spesielt i miljøer som krever høy temperatur, høyt trykk og høy slitestyrke, og er et ideelt materiale for produksjon av varmebehandlingsdeler i halvlederproduksjonsprosessen.

Send e-post til oss

Produktdetaljer

Produktetiketter

Produktoversikt

DeSilisiumimpregnert silisiumkarbid (SiC) padle og waferholderer konstruert for å møte de krevende kravene til termisk behandling av halvledere. Laget av høyrent SiC og forbedret gjennom silisiumimpregnering, tilbyr dette produktet en unik kombinasjon av høytemperaturytelse, utmerket termisk ledningsevne, korrosjonsbestandighet og enestående mekanisk styrke.

Ved å integrere avansert materialvitenskap med presisjonsproduksjon, sikrer denne løsningen overlegen ytelse, pålitelighet og holdbarhet for halvlederprodusenter.

Nøkkelfunksjoner

1.Eksepsjonell motstand mot høye temperaturer

Med et smeltepunkt over 2700°C er SiC-materialer iboende stabile under ekstrem varme. Silisiumimpregnering forbedrer deres termiske stabilitet ytterligere, og lar dem tåle langvarig eksponering for høye temperaturer uten strukturell svekkelse eller ytelsesforringelse.

2.Overlegen termisk ledningsevne

Den eksepsjonelle termiske ledningsevnen til silisiumimpregnert SiC sikrer jevn varmefordeling, og reduserer termisk stress under kritiske prosesstrinn. Denne egenskapen forlenger utstyrets levetid og minimerer produksjonsstans, noe som gjør den ideell for høytemperatur termisk behandling.

3.Oksidasjons- og korrosjonsbestandighet

Et robust silisiumoksidlag dannes naturlig på overflaten, og gir enestående motstand mot oksidasjon og korrosjon. Dette sikrer langsiktig pålitelighet i tøffe driftsmiljøer, og beskytter både materialet og omkringliggende komponenter.

4.Høy mekanisk styrke og slitestyrke

Silisiumimpregnert SiC har utmerket trykkstyrke og slitestyrke, og opprettholder sin strukturelle integritet under høye belastninger og høye temperaturer. Dette reduserer risikoen for slitasjerelatert skade, og sikrer jevn ytelse over lengre brukssykluser.

Spesifikasjoner

Produktnavn	SC-RSiC-Si
Materiale	Silisiumimpregnering Silisiumkarbid kompakt (høy renhet)
Søknader	Halvleder varmebehandlingsdeler, halvlederproduksjonsutstyrsdeler
Leveringsskjema	Støpt kropp (sintret kropp)

Komposisjon			Mekanisk eiendom	Youngs modul (GPa)	Bøyestyrke (MPa)
Sammensetning (vol%)	a-SiC	a-SiC	RT	370	250
Sammensetning (vol%)	82	18	800°C	360	220
Bulkdensitet (kg/m³)	3,02 x 10³		1200°C	340	220
Varmebestandig Temperatur °C	1350		Poissons forhold	0,18(RT)
Termisk eiendom	Termisk ledningsevne (B/(m· K))	Spesifikk varmekapasitet (kJ/(kg·K))	Koeffisient for termisk ekspansjon (1/K)
RT	220	0,7	RT~700°C	3,4 x 10^-6
700°C	60	1.23	700~1200°C	4,3 x 10^-6

Urenhetsinnhold ((ppm)

Element

Innholdsrate

<0,5

<0,1

0,3

<0,1

<0,3

Søknader

▪Halvleder termisk prosessering:Ideell for prosesser som kjemisk dampavsetning (CVD), epitaksial vekst og gløding, der presis temperaturkontroll og materialets holdbarhet er avgjørende.

▪Waferbærere og padler:Designet for å sikkert holde og transportere wafere under høytemperatur termiske behandlinger.

▪Ekstreme driftsmiljøer: Egnet for innstillinger som krever motstand mot varme, kjemisk eksponering og mekanisk påkjenning.

Fordeler med silisiumimpregnert SiC

Kombinasjonen av høyrent silisiumkarbid og avansert silisiumimpregneringsteknologi gir uovertruffen ytelsesfordeler:

▪Presisjon:Forbedrer nøyaktigheten og kontrollen av halvlederbehandling.

▪Stabilitet:Tåler tøffe miljøer uten at det går på bekostning av funksjonalitet.

▪Levetid:Forlenger levetiden til halvlederproduksjonsutstyr.

▪Effektivitet:Forbedrer produktiviteten ved å sikre pålitelige og konsistente resultater.

Hvorfor velge våre silisiumimpregnerte SiC-løsninger?

At Semicera, spesialiserer vi oss på å tilby løsninger med høy ytelse skreddersydd for behovene til halvlederprodusenter. Vår silisiumimpregnerte silisiumkarbidpadle og waferholder gjennomgår strenge tester og kvalitetssikring for å møte industristandarder. Ved å velge Semicera får du tilgang til banebrytende materialer designet for å optimalisere produksjonsprosessene dine og forbedre produksjonsevnene dine.