Slipeskive er et viktig prosessutstyr for produksjon av silisiumskiver for ultra-storskala integrerte kretser i halvlederindustrien. Vanligvis brukt støpejern eller karbonstål slipeskive har lav levetid og stor termisk ekspansjonskoeffisient. I prosessen med å behandle silisiumskiver, spesielt i prosessen med høyhastighetssliping eller polering, er flatheten og parallelliteten til silisiumskivene vanskelig å sikre på grunn av slitasje og termisk deformasjon av slipeskiven.
Slipeskiven av silisiumkarbidkeramikk kan slipes og poleres med høy hastighet på grunn av den høye hardheten og den lille slitasjen på slipeskiven, og den termiske ekspansjonskoeffisienten er i utgangspunktet den samme som for silisiumplaten. Spesielt de siste årene blir størrelsen på silisiumwafer større og større, noe som stiller høyere krav til kvalitet og effektivitet av silisiumwafersliping.
Bruken av silisiumkarbidkeramisk slipeskive vil i stor grad forbedre kvaliteten og effektiviteten til silisiumwafersliping. Samtidig kan den keramiske slipeskiven av silisiumkarbid også brukes til å slipe og polere planet av andre materialer som flak eller blokkobjekter. Med utviklingen av industrialiseringen, spesielt implementeringen av ISO14000 internasjonal standard, har det blitt stilt høyere krav til transport av væsker som ikke bidrar til miljøvern.
En av de viktigste egenskapene til silisiumkarbidkeramikk er dens høytemperaturstyrke, det vil si at styrken i utgangspunktet ikke reduseres ved 1600 grader, og oksidasjonsmotstanden er veldig god, så den kan brukes i høytemperaturstrukturdeler. For eksempel toppplaten til høytemperaturovn, støtte og høytemperatur eksperimentarmaturer.
SemiceraEnergy Technology Co., Ltd er en profesjonell forskning, utvikling, produksjon og salg av silisiumkarbidkeramiske produkter.Siden etableringen i 2016,SemiceraEnergy har mestret isostatisk pressestøpeprosess, tusen pressestøpeprosess, fugestøpeprosess og vakuumekstruderingsstøpeprosess. Vårt firma bruker 6 produksjonslinjer for keramisk sintring av silisiumkarbid, har 8 CNC, 6 presisjonsslipemaskiner, kan også gi deg silisiumkarbid keramiske sintrede produkter, men kan også tilby silisiumkarbid keramikk, alumina keramikk, aluminiumnitrid keramikk, zirkonium keramikk tjenester .
