Beskrivelse
Semicorex Wafer Carriers med SiC-belegg gir eksepsjonell termisk stabilitet og ledningsevne, og sikrer jevn varmefordeling under CVD-prosesser, avgjørende for høykvalitets tynnfilm- og beleggegenskaper.
Nøkkelfunksjoner:
1. Enestående termisk stabilitet og konduktivitetVåre SiC-belagte waferbærere utmerker seg ved å opprettholde stabile og konsistente temperaturer, avgjørende for CVD-prosesser. Dette sikrer jevn varmefordeling, noe som fører til overlegen tynn film- og beleggkvalitet.
2. PresisjonsproduksjonHver wafer-bærer er produsert etter strenge standarder, noe som sikrer jevn tykkelse og jevn overflate. Denne presisjonen er avgjørende for å oppnå konsistente avsetningshastigheter og filmegenskaper på tvers av flere wafere, noe som forbedrer den totale produksjonskvaliteten.
3. UrenhetsbarriereSiC-belegget fungerer som en ugjennomtrengelig barriere, og forhindrer diffusjon av urenheter fra susceptoren inn i waferen. Dette minimerer forurensningsrisikoen, noe som er avgjørende for å produsere høyrente halvlederenheter.
4. Holdbarhet og kostnadseffektivitetDen robuste konstruksjonen og SiC-belegget forbedrer holdbarheten til waferbærerne, og reduserer frekvensen av susceptorerstatninger. Dette fører til lavere vedlikeholdskostnader og minimert nedetid, noe som øker effektiviteten av halvlederproduksjonsoperasjoner.
5. TilpasningsalternativerSemicorex Wafer Carriers med SiC-belegg kan tilpasses for å møte spesifikke prosesskrav, inkludert variasjoner i størrelse, form og beleggtykkelse. Denne fleksibiliteten tillater optimalisering av susceptoren for å matche de unike kravene til forskjellige halvlederfremstillingsprosesser. Tilpasningsalternativer muliggjør utvikling av susceptordesign skreddersydd for spesialiserte applikasjoner, som høyvolumsproduksjon eller forskning og utvikling, og sikrer optimal ytelse for spesifikke brukstilfeller.
Søknader:
Semicera Wafer Carriers med SiC-belegg er ideelt egnet for:
• Epitaksial vekst av halvledermaterialer
• Kjemisk dampavsetning (CVD) prosesser
• Produksjon av høykvalitets halvlederskiver
• Avanserte applikasjoner for halvlederproduksjon
Tekniske spesifikasjoner:






