Beskrivelse
Semicorex Wafer Carriers med SiC-belegg gir eksepsjonell termisk stabilitet og ledningsevne, og sikrer jevn varmefordeling under CVD-prosesser, avgjørende for høykvalitets tynnfilm- og beleggegenskaper.
Nøkkelfunksjoner:
1. Enestående termisk stabilitet og konduktivitetVåre SiC-belagte waferbærere utmerker seg ved å opprettholde stabile og konsistente temperaturer, avgjørende for CVD-prosesser. Dette sikrer jevn varmefordeling, noe som fører til overlegen tynn film- og beleggkvalitet.
2. PresisjonsproduksjonHver wafer-bærer er produsert etter strenge standarder, noe som sikrer jevn tykkelse og jevn overflate. Denne presisjonen er avgjørende for å oppnå konsistente avsetningshastigheter og filmegenskaper på tvers av flere wafere, noe som forbedrer den totale produksjonskvaliteten.
3. UrenhetsbarriereSiC-belegget fungerer som en ugjennomtrengelig barriere, og forhindrer diffusjon av urenheter fra susceptoren inn i waferen. Dette minimerer forurensningsrisikoen, noe som er avgjørende for å produsere høyrente halvlederenheter.
4. Holdbarhet og kostnadseffektivitetDen robuste konstruksjonen og SiC-belegget forbedrer holdbarheten til waferbærerne, og reduserer frekvensen av susceptorerstatninger. Dette fører til lavere vedlikeholdskostnader og minimert nedetid, noe som øker effektiviteten ved produksjon av halvledere.
5. TilpasningsalternativerSemicorex Wafer Carriers med SiC-belegg kan tilpasses for å møte spesifikke prosesskrav, inkludert variasjoner i størrelse, form og beleggtykkelse. Denne fleksibiliteten tillater optimalisering av susceptoren for å matche de unike kravene til forskjellige halvlederfremstillingsprosesser. Tilpasningsalternativer muliggjør utvikling av susceptordesign skreddersydd for spesialiserte applikasjoner, som høyvolumsproduksjon eller forskning og utvikling, og sikrer optimal ytelse for spesifikke brukstilfeller.
Søknader:
Semicera Wafer Carriers med SiC-belegg er ideelt egnet for:
• Epitaksial vekst av halvledermaterialer
• Chemical Vapor Deposition (CVD) prosesser
• Produksjon av høykvalitets halvlederskiver
• Avanserte applikasjoner for halvlederproduksjon