Halvlederkassett

Kort beskrivelse:

Halvlederkassett– Beskytt og transporter wafere dine med presisjon ved hjelp av Semiceras Semiconductor Cassette, designet for å sikre optimal sikkerhet og effektivitet i høyteknologiske produksjonsmiljøer.


Produktdetaljer

Produktetiketter

SemiceraintrodusererHalvlederkassett, et viktig verktøy for sikker og effektiv håndtering av wafere gjennom hele halvlederproduksjonsprosessen. Konstruert med høy presisjon sørger denne kassetten for at skivene dine blir trygt lagret og transportert, og opprettholder integriteten i alle trinn.

Overlegen beskyttelse og holdbarhetDeHalvlederkassettfra Semicera er bygget for å gi maksimal beskyttelse til dine wafere. Konstruert av robuste, forurensningsbestandige materialer, beskytter den wafere dine mot potensiell skade og forurensning, noe som gjør den til et ideelt valg for renromsmiljøer. Kassettens design minimerer partikkelgenerering og sikrer at wafere forblir urørte og sikre under håndtering og transport.

Forbedret design for optimal ytelseSemicera sinHalvlederkassetthar en omhyggelig konstruert design som gir presis waferjustering, noe som reduserer risikoen for feiljustering og mekanisk skade. Kassettens spor er perfekt plassert for å holde hver wafer sikkert, og forhindrer enhver bevegelse som kan resultere i riper eller andre ufullkommenheter.

Allsidighet og kompatibilitetDeHalvlederkassetter allsidig og kompatibel med forskjellige waferstørrelser, noe som gjør den egnet for forskjellige stadier av halvlederproduksjon. Enten du jobber med standard eller tilpassede waferdimensjoner, tilpasser denne kassetten seg til dine behov, og tilbyr fleksibilitet i produksjonsprosessene dine.

Strømlinjeformet håndtering og effektivitetDesignet med brukeren i tankeneSemicera halvlederkassetter lett og lett å håndtere, noe som gir rask og effektiv lasting og lossing. Denne ergonomiske utformingen sparer ikke bare tid, men reduserer også risikoen for menneskelige feil, og sikrer jevn drift i anlegget ditt.

Oppfyller industristandarderSemicera sørger for atHalvlederkassettoppfyller de høyeste industristandardene for kvalitet og pålitelighet. Hver kassett gjennomgår strenge tester for å garantere at den yter konsekvent under de krevende forholdene ved halvlederproduksjon. Denne dedikasjonen til kvalitet sikrer at wafere dine alltid er beskyttet, og opprettholder de høye standardene som kreves i bransjen.

Varer

Produksjon

Forske

Dummy

Krystallparametere

Polytype

4H

Overflateorienteringsfeil

<11-20 >4±0,15°

Elektriske parametere

Dopant

n-type nitrogen

Resistivitet

0,015-0,025 ohm·cm

Mekaniske parametere

Diameter

150,0±0,2 mm

Tykkelse

350±25 μm

Primær flat orientering

[1-100]±5°

Primær flat lengde

47,5±1,5 mm

Sekundærleilighet

Ingen

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Bue

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Forside (Si-face) ruhet (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Struktur

Mikrorørtetthet

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 e/cm2

Metallurenheter

≤5E10atomer/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Frontkvalitet

Front

Si

Overflatefinish

Si-face CMP

Partikler

≤60ea/wafer (størrelse≥0,3μm)

NA

Riper

≤5ea/mm. Kumulativ lengde ≤Diameter

Kumulativ lengde≤2*Diameter

NA

Appelsinskall/groper/flekker/striper/ sprekker/forurensning

Ingen

NA

Kantspon/innrykk/brudd/hex-plater

Ingen

Polytype områder

Ingen

Akkumulert areal≤20 %

Akkumulert areal≤30 %

Lasermerking foran

Ingen

Ryggkvalitet

Avslutning bak

C-ansikt CMP

Riper

≤5ea/mm, Kumulativ lengde≤2*Diameter

NA

Ryggdefekter (kantskår/innrykk)

Ingen

Ruhet i ryggen

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Lasermerking bak

1 mm (fra øvre kant)

Kant

Kant

Chamfer

Emballasje

Emballasje

Epi-klar med vakuumemballasje

Multi-wafer kassettemballasje

*Merknader: "NA" betyr ingen forespørsel. Elementer som ikke er nevnt kan referere til SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC-skiver

  • Tidligere:
  • Neste: