SemiceraintrodusererHalvlederkassett, et viktig verktøy for sikker og effektiv håndtering av wafere gjennom hele halvlederproduksjonsprosessen. Konstruert med høy presisjon sørger denne kassetten for at wafere dine blir trygt lagret og transportert, og opprettholder integriteten i alle ledd.
Overlegen beskyttelse og holdbarhetDeHalvlederkassettfra Semicera er bygget for å gi maksimal beskyttelse til dine wafere. Konstruert av robuste, forurensningsbestandige materialer, beskytter den wafere dine mot potensiell skade og forurensning, noe som gjør den til et ideelt valg for renromsmiljøer. Kassettens design minimerer partikkelgenerering og sikrer at wafere forblir urørte og sikre under håndtering og transport.
Forbedret design for optimal ytelseSemicera sinHalvlederkassetthar en omhyggelig konstruert design som gir presis waferjustering, noe som reduserer risikoen for feiljustering og mekanisk skade. Kassettens spor er perfekt plassert for å holde hver wafer sikkert, og forhindrer enhver bevegelse som kan resultere i riper eller andre ufullkommenheter.
Allsidighet og kompatibilitetDeHalvlederkassetter allsidig og kompatibel med forskjellige waferstørrelser, noe som gjør den egnet for ulike stadier av halvlederproduksjon. Enten du jobber med standard eller tilpassede waferdimensjoner, tilpasser denne kassetten seg til dine behov, og tilbyr fleksibilitet i produksjonsprosessene dine.
Strømlinjeformet håndtering og effektivitetDesignet med brukeren i tankeneSemicera halvlederkassetter lett og lett å håndtere, noe som gir rask og effektiv lasting og lossing. Denne ergonomiske designen sparer ikke bare tid, men reduserer også risikoen for menneskelige feil, og sikrer jevn drift i anlegget ditt.
Oppfyller industristandarderSemicera sørger for atHalvlederkassettoppfyller de høyeste industristandardene for kvalitet og pålitelighet. Hver kassett gjennomgår strenge tester for å garantere at den yter konsekvent under de krevende forholdene ved halvlederproduksjon. Denne dedikasjonen til kvalitet sikrer at wafere dine alltid er beskyttet, og opprettholder de høye standardene som kreves i bransjen.
Varer | Produksjon | Forske | Dummy |
Krystallparametere | |||
Polytype | 4H | ||
Overflateorienteringsfeil | <11-20 >4±0,15° | ||
Elektriske parametere | |||
Dopant | n-type nitrogen | ||
Resistivitet | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Mekaniske parametere | |||
Diameter | 150,0±0,2 mm | ||
Tykkelse | 350±25 μm | ||
Primær flat orientering | [1-100]±5° | ||
Primær flat lengde | 47,5±1,5 mm | ||
Sekundærleilighet | Ingen | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Bue | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Forside (Si-face) ruhet (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Struktur | |||
Mikrorørtetthet | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 e/cm2 |
Metallurenheter | ≤5E10atomer/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Frontkvalitet | |||
Front | Si | ||
Overflatefinish | Si-face CMP | ||
Partikler | ≤60ea/wafer (størrelse≥0,3μm) | NA | |
Riper | ≤5ea/mm. Kumulativ lengde ≤Diameter | Kumulativ lengde≤2*Diameter | NA |
Appelsinskall/groper/flekker/striper/ sprekker/forurensning | Ingen | NA | |
Kantspon/innrykk/brudd/hex-plater | Ingen | ||
Polytype områder | Ingen | Akkumulert areal≤20 % | Akkumulert areal≤30 % |
Lasermerking foran | Ingen | ||
Ryggkvalitet | |||
Avslutning bak | C-ansikt CMP | ||
Riper | ≤5ea/mm, Kumulativ lengde≤2*Diameter | NA | |
Ryggdefekter (kantskår/innrykk) | Ingen | ||
Ruhet i ryggen | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Lasermerking bak | 1 mm (fra øvre kant) | ||
Kant | |||
Kant | Chamfer | ||
Emballasje | |||
Emballasje | Epi-klar med vakuumemballasje Multi-wafer kassettemballasje | ||
*Merknader: "NA" betyr ingen forespørsel. Elementer som ikke er nevnt kan referere til SEMI-STD. |