Tørr etsingsprosess består vanligvis av fire grunnleggende tilstander: før etsing, delvis etsing, bare etsing og overetsing. Hovedkarakteristikkene er etsehastighet, selektivitet, kritisk dimensjon, uniformitet og endepunktdeteksjon. Figur 1 Før etsing Figur 2 Delvis etsing Figur...
Les mer