DeMOCVDmetoden er en av de mest stabile prosessene som for tiden brukes i industrien for å dyrke høykvalitets enkrystallinske tynnfilmer, slik som enkeltfase InGaN-epilager, III-N-materialer og halvlederfilmer med flerkvantebrønnstrukturer, og er av stor betydning i produksjon av halvledere og optoelektroniske enheter.
DeSiC belegg MOCVD susceptorer en spesialisert waferholder belagt med silisiumkarbid (SiC) forepitaksial vekst i prosessen med metallorganisk kjemisk dampavsetning (MOCVD).
SiC-belegget har utmerket kjemisk motstand og termisk stabilitet, noe som gjør det til et ideelt valg for MOCVD-susceptorer som brukes i krevende epitaksiale vekstprosesser.
En nøkkelkomponent i MOCVD-prosessen er susceptoren, som er et nøkkelelement for å sikre jevnheten og kvaliteten til de produserte tynne filmene.
Hva er en susceptor? Susceptoren er en spesialisert komponent som brukes i MOCVD-prosessen for å støtte og varme opp underlaget som den tynne filmen er avsatt på. Den har flere funksjoner, inkludert å absorbere elektromagnetisk energi, konvertere den til varme og jevnt fordele varmen på underlaget. Denne jevne oppvarmingen er avgjørende for veksten av jevne tynne filmer med presis tykkelse og sammensetning.
Typer susceptorer:
1. Grafittsusceptorer: Grafittsusceptorer er ofte belagt med et beskyttende lag som f.eks.silisiumkarbid (SiC), som er kjent for sin høye varmeledningsevne og stabilitet. DeSiC belegggir en hard, beskyttende overflate som motstår korrosjon og nedbrytning ved høye temperaturer.
2. Silisiumkarbid (SiC) susceptorer: Disse susceptorene er laget utelukkende av SiC og har utmerket termisk stabilitet og slitestyrke. SiC-susceptorer er spesielt egnet for høytemperaturprosesser og korrosive miljøer.
Hvordan susceptorer fungerer i MOCVD:
I MOCVD-prosessen blir forløpere introdusert i reaksjonskammeret hvor de brytes ned og reagerer for å danne en tynn film på underlaget. Susceptoren spiller en viktig rolle ved å sikre at substratet varmes jevnt opp, noe som er avgjørende for å oppnå konsistente filmegenskaper over hele substratoverflaten. Materialet og designen til susceptoren er nøye utvalgt for å møte de spesifikke kravene til avsetningsprosessen, slik som temperaturområde og kjemisk kompatibilitet.
Fordeler med å bruke susceptorer av høy kvalitet:
• Forbedret filmkvalitet: Ved å gi jevn varmefordeling bidrar susceptoren til å oppnå filmer med jevn tykkelse og sammensetning, noe som er avgjørende for ytelsen til halvlederenheter.
• Forbedret prosesseffektivitet: Susceptorer av høy kvalitet øker den totale effektiviteten til MOCVD-prosessen ved å redusere sannsynligheten for defekter og øke utbyttet av brukbare filmer.
• Levetid og pålitelighet: Susceptorer laget av slitesterke materialer som SiC sikrer langsiktig pålitelighet og reduserer vedlikeholdskostnadene.
Susceptoren er en integrert komponent i MOCVD-prosessen og påvirker direkte kvaliteten og effektiviteten til tynnfilmavsetning. For mer informasjon om tilgjengelige størrelser, MOCVD-susceptorer og priser, ikke nøl med å kontakte oss. Våre ingeniører vil gjerne gi deg råd om passende materialer og svare på alle dine spørsmål.
Telefon: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Innleggstid: Aug-12-2024