Halvlederindustrien er vitne til enestående vekst, spesielt i riket avsilisiumkarbid (SiC)kraftelektronikk. Med mange storskalaoblatfabrikker under bygging eller utvidelse for å møte den økende etterspørselen etter SiC-enheter i elektriske kjøretøy, gir denne boomen bemerkelsesverdige muligheter for profittvekst. Men det bringer også frem unike utfordringer som krever innovative løsninger.
I hjertet av økende global SiC-brikkeproduksjon ligger produksjonen av høykvalitets SiC-krystaller, wafere og epitaksiale lag. Her,grafitt av halvlederkvalitetmaterialer spiller en sentral rolle, og letter SiC-krystallvekst og avsetning av SiC epitaksiale lag. Grafittens termiske isolasjon og treghet gjør det til et foretrukket materiale, mye brukt i digler, piedestaler, planetskiver og satellitter innenfor krystallvekst- og epitaksisystemer. Ikke desto mindre utgjør de tøffe prosessforholdene en betydelig utfordring, som fører til rask nedbrytning av grafittkomponenter og deretter hindre produksjonen av høykvalitets SiC-krystaller og epitaksiale lag.
Produksjonen av silisiumkarbidkrystaller innebærer ekstremt tøffe prosessforhold, inkludert temperaturer over 2000°C og svært korrosive gassstoffer. Dette resulterer ofte i fullstendig korrosjon av grafittdigler etter flere prosesssykluser, og øker dermed produksjonskostnadene. I tillegg endrer de tøffe forholdene overflateegenskapene til grafittkomponenter, og kompromitterer repeterbarheten og stabiliteten til produksjonsprosessen.
For å bekjempe disse utfordringene effektivt, har beskyttende beleggsteknologi dukket opp som en game-changer. Beskyttende belegg basert påtantalkarbid (TaC)har blitt introdusert for å løse problemene med nedbrytning av grafittkomponenter og mangel på grafittforsyning. TaC-materialer har en smeltetemperatur på over 3800°C og eksepsjonell kjemisk motstandsdyktighet. Utnytte teknologi for kjemisk dampavsetning (CVD),TaC-beleggmed en tykkelse på opptil 35 millimeter kan sømløst avsettes på grafittkomponenter. Dette beskyttende laget forbedrer ikke bare materialstabiliteten, men forlenger også levetiden til grafittkomponenter betydelig, og reduserer dermed produksjonskostnadene og øker driftseffektiviteten.
Semicera, en ledende leverandør avTaC-belegg, har vært medvirkende til å revolusjonere halvlederindustrien. Med sin banebrytende teknologi og urokkelige forpliktelse til kvalitet, har Semicera gjort det mulig for halvlederprodusenter å overvinne kritiske utfordringer og oppnå nye suksesshøyder. Ved å tilby TaC-belegg med uovertruffen ytelse og pålitelighet, har Semicera sementert sin posisjon som en pålitelig partner for halvlederbedrifter over hele verden.
Avslutningsvis, beskyttende belegg teknologi, drevet av innovasjoner somTaC-beleggfra Semicera, omformer halvlederlandskapet og baner vei for en mer effektiv og bærekraftig fremtid.
Innleggstid: 16. mai 2024