Introduksjon til glassaktig karbonbelegg av halvlederkvalitet

I. Introduksjon til glassaktig karbonstruktur

Kjennetegn:

(1) Overflaten av glassaktig karbon er glatt og har en glassaktig struktur;

(2) Glassaktig karbon har høy hardhet og lav støvgenerering;

(3) Glassaktig karbon har en stor ID/IG-verdi og en veldig lav grad av grafitisering, og dens termiske isolasjonsytelse er bedre;

(4) Glassaktig karbon er et karbon som er vanskelig å grafitisere med god motstand mot høye temperaturer og sterk stabilitet ved høye temperaturer;

(5) Glassaktig karbon har en liten reaksjonsoverflate og utmerket kjemisk korrosjonsbestandighet, og er mer motstandsdyktig mot erosjon av oksygen, silisium, etc.

II. Introduksjon til glassaktig karbonbelegg

Overflateporene til flake-grafittbelegg er fordelt og strukturen er løs, mens strukturen til glassaktig karbonbelegg er tett og ikke faller av!

1. Antioksidasjonsytelse av glassaktig karbonbelegg

(1)Laminert hard filt
Glassaktig karbonbelegg forbedrer effektivt antioksidasjonsytelsen til hard filt;

(2)Kort fiber hard filt
Hele filten har høy porøsitet og gir oksygenkanaler; flake-grafittbelegget har en løs struktur, færre oksygenkanaler og forbedret antioksidasjonsytelse; det belagte glassaktige karbonbelegget har en tett struktur, færre oksygenkanaler og den beste antioksidasjonsytelsen.

2. Høytemperaturstabilitet av glassaktig karbonbelegg mot ablasjon
Den porøse strukturen til vanlig filt kan dempe varme (varmekonveksjon varmespredning); grafittpapir er utsatt for blemmer når det fjernes; ablasjonsdybden til glassaktig karbonbelegg er den grunneste, og ablasjonsmotstanden er den sterkeste; det glassaktige karbonbelegget har god varmeisolasjonsytelse.

3. Anti-Si erosjonsytelse av glassaktig karbonbelegg
Kort fiber hard filt er erodert og pulverisert av Si; flake grafittbelegg har motstand mot Si-erosjon på kort sikt; glassaktig karbonbelegg har den beste anti-erosjonsytelsen.

Hovedårsaken til Si-erosjon er at Si-gassifisering direkte eroderer overflaten av den harde filten, noe som resulterer i pulverisering; mens karbonstrukturen til det glassaktige karbonbelegget er mer stabil og har bedre anti-erosjonsytelse.

Sammendrag

Det glassaktige karbonbeleggsystemet brukes ikke bare på varmeisolasjonsmaterialer, men forventes også å bli brukt direkte på overflaten av grafittdeler ogC/C deler, som effektivt forbedrer den omfattende tjenesteytelsen til materialet.