Lang levetid SiC-belagt grafittbærer for solar wafer

Kort beskrivelse:

Silisiumkarbid er en ny type keramikk med høy kostnadsytelse og utmerkede materialegenskaper. På grunn av egenskaper som høy styrke og hardhet, høy temperaturbestandighet, god termisk ledningsevne og kjemisk korrosjonsbestandighet, tåler silisiumkarbid nesten alle kjemiske medier. Derfor er SiC mye brukt i oljegruvedrift, kjemikalier, maskineri og luftrom, selv kjernekraft og militæret har sine spesielle krav til SIC. Noen normale bruksområder vi kan tilby er tetningsringer for pumpe, ventil og beskyttelsesrustning etc.


Produktdetaljer

Produktetiketter

Fordeler

Høy temperatur oksidasjonsmotstand
Utmerket korrosjonsbestandighet
God slitestyrke
Høy varmeledningsevne
Selvsmøring, lav tetthet
Høy hardhet
Tilpasset design.

HGF (2)
HGF (1)

Søknader

-Slitasjebestandig felt: bøssing, plate, sandblåsingsdyse, syklonfôr, slipetønne, etc...
- Høytemperaturfelt: siC-plate, bråovnsrør, strålingsrør, digel, varmeelement, rulle, bjelke, varmeveksler, kaldluftrør, brennerdyse, termoelementbeskyttelsesrør, SiC-båt, ovnsbilstruktur, setter, etc.
-Silisiumkarbidhalvleder: SiC waferbåt, sic chuck, sic padle, sic kassett, sic diffusjonsrør, wafergaffel, sugeplate, føringsvei, etc.
-Silisiumkarbid tetningsfelt: alle typer tetningsringer, lager, bøssing, etc.
- Fotovoltaisk felt: Cantilever paddle, sliping barrel, silisiumkarbidrulle, etc.
- Litium batterifelt

WAFER (1)

WAFER (2)

Fysiske egenskaper til SiC

Eiendom Verdi Metode
Tetthet 3,21 g/cc Vask-flyt og dimensjon
Spesifikk varme 0,66 J/g °K Pulserende laserblits
Bøyestyrke 450 MPa560 MPa 4-punktsbøyning, RT4-punktsbøyning, 1300°
Bruddfasthet 2,94 MPa m1/2 Mikroinnrykk
Hardhet 2800 Vicker's, 500g belastning
Elastisk ModulusYoungs Modulus 450 GPa430 GPa 4 pt bend, RT4 pt bend, 1300 °C
Kornstørrelse 2 – 10 µm SEM

Termiske egenskaper til SiC

Termisk ledningsevne 250 W/m °K Laserblitsmetode, RT
Termisk ekspansjon (CTE) 4,5 x 10-6 °K Romtemperatur til 950 °C, silikadilatometer

Tekniske parametere

Punkt Enhet Data
RBSiC(SiSiC) NBSiC SSiC RSiC OSiC
SiC innhold % 85 75 99 99,9 ≥99
Gratis silisiuminnhold % 15 0 0 0 0
Maks driftstemperatur 1380 1450 1650 1620 1400
Tetthet g/cm3 3.02 2,75-2,85 3.08-3.16 2,65-2,75 2,75-2,85
Åpen porøsitet % 0 13-15 0 15-18 7-8
Bøyestyrke 20℃ Мpa 250 160 380 100 /
Bøyestyrke 1200 ℃ Мpa 280 180 400 120 /
Elastisitetsmodul 20℃ Gpa 330 580 420 240 /
Elastisitetsmodul 1200 ℃ Gpa 300 / / 200 /
Termisk ledningsevne 1200 ℃ W/mK 45 19.6 100-120 36,6 /
Koeffisient for termisk utvidelse K-1X10-6 4.5 4.7 4.1 4,69 /
HV Kg/mm2 2115 / 2800 / /

CVD-silisiumkarbidbelegget på den ytre overflaten av rekrystalliserte silisiumkarbidkeramiske produkter kan nå en renhet på mer enn 99,9999% for å møte behovene til kunder i halvlederindustrien.

Semicera Arbeidsplass
Semicera arbeidsplass 2
Utstyr maskin
CNN-behandling, kjemisk rengjøring, CVD-belegg
Vår tjeneste

  • Tidligere:
  • Neste: