SiC pinnebrett for ICP-etseprosesser i LED-industrien

Kort beskrivelse:

Silisiumkarbid er en ny type keramikk med høy kostnadsytelse og utmerkede materialegenskaper. På grunn av egenskaper som høy styrke og hardhet, høy temperaturbestandighet, god termisk ledningsevne og kjemisk korrosjonsbestandighet, tåler silisiumkarbid nesten alle kjemiske medier. Derfor er SiC mye brukt i oljegruvedrift, kjemikalier, maskineri og luftrom, selv kjernekraft og militæret har sine spesielle krav til SIC.

Vi er i stand til å designe og produsere i henhold til dine spesifikke dimensjoner med god kvalitet og rimelig leveringstid.


Produktdetaljer

Produktetiketter

Produktbeskrivelse

Vårt firma tilbyr SiC-beleggingsprosesstjenester ved CVD-metode på overflaten av grafitt, keramikk og andre materialer, slik at spesielle gasser som inneholder karbon og silisium reagerer ved høy temperatur for å oppnå høy renhet SiC-molekyler, molekyler avsatt på overflaten av de belagte materialene, danner SIC-beskyttelseslag.

Hovedtrekk:

1. Høy temperatur oksidasjonsmotstand:

oksidasjonsmotstanden er fortsatt veldig god når temperaturen er så høy som 1600 C.

2. Høy renhet: laget av kjemisk dampavsetning under høytemperatur kloreringsbetingelser.

3. Erosjonsbestandighet: høy hardhet, kompakt overflate, fine partikler.

4. Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.

Silisiumkarbid etset skive (2)

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg

SiC-CVD-egenskaper

Krystallstruktur

FCC β-fase

Tetthet

g/cm³

3.21

Hardhet

Vickers hardhet

2500

Kornstørrelse

μm

2~10

Kjemisk renhet

%

99,99995

Varmekapasitet

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimeringstemperatur

2700

Feleksural styrke

MPa (RT 4-punkts)

415

Youngs modul

Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)

430

Termisk ekspansjon (CTE)

10-6K-1

4.5

Termisk ledningsevne

(W/mK)

300

Semicera Arbeidsplass
Semicera arbeidsplass 2
Utstyr maskin
CNN-behandling, kjemisk rengjøring, CVD-belegg
Vår tjeneste

  • Tidligere:
  • Neste: