SiC-bærer/susceptor med høy renhet

Høy renhet SiC-bærer/susceptor Utvalgt bilde

Kort beskrivelse:

Silisiumkarbidlagerskive er også kjent som SIC-brett, silisiumkarbid-etseskive, ICP-etseskive. Silisiumkarbidbrett for LED-etsing (SiC tray) φ600mm er et spesialtilbehør for dyp silisiumetsing (ICP-etsemaskin).

Send e-post til oss

Produktdetaljer

Produktetiketter

Beskrivelse

Silisiumkarbidkeramikk har utmerkede mekaniske egenskaper ved romtemperatur, slik som høy styrke, høy hardhet, høy elastisitetsmodul, etc., den har også utmerket høytemperaturstabilitet som høy varmeledningsevne, lav termisk ekspansjonskoeffisient og god spesifikk stivhet og optisk behandlingsytelse.
De er spesielt egnet for å produsere presisjons keramiske deler for integrerte kretsutstyr som litografimaskiner, hovedsakelig brukt til å produsere SiC-bæreren/susceptoren, SiC wafer-båten, sugeskive, vannkjøleplate, presisjonsmålingsreflektor, gitter og andre keramiske strukturelle deler

transportør 2

transportør3

transportør4

Fordeler

Høy temperaturmotstand: normal bruk ved 1800 ℃
Høy varmeledningsevne: tilsvarende grafittmateriale
Høy hardhet: hardhet nest etter diamant, bornitrid
Korrosjonsbestandighet: sterk syre og alkali har ingen korrosjon, korrosjonsmotstanden er bedre enn wolframkarbid og alumina
Lett vekt: lav tetthet, nær aluminium
Ingen deformasjon: lav termisk utvidelseskoeffisient
Termisk sjokkmotstand: den tåler skarpe temperaturendringer, motstår termisk sjokk og har stabil ytelse
Silisiumkarbidbærer som sic etsing carrier, ICP ets susceptor, er mye brukt i halvleder CVD, vakuum sputtering etc. Vi kan gi kundene tilpassede wafer carriers av silisium og silisiumkarbidmaterialer for å møte ulike applikasjoner.

Fordeler

Eiendom	Verdi	Metode
Tetthet	3,21 g/cc	Vask-flyt og dimensjon
Spesifikk varme	0,66 J/g °K	Pulserende laserblits
Bøyestyrke	450 MPa560 MPa	4 punkts bøy, RT4 punkt bøy, 1300°
Bruddfasthet	2,94 MPa m1/2	Mikroinnrykk
Hardhet	2800	Vicker's, 500g belastning
Elastisk ModulusYoungs Modulus	450 GPa430 GPa	4 pt bend, RT4 pt bend, 1300 °C
Kornstørrelse	2 – 10 µm	SEM

Bedriftsprofil

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. er en ledende leverandør av avansert halvlederkeramikk og den eneste produsenten i Kina som samtidig kan tilby høyrent silisiumkarbidkeramikk (spesielt omkrystallisert SiC) og CVD SiC-belegg. I tillegg er selskapet vårt også forpliktet til keramiske felt som alumina, aluminiumnitrid, zirkoniumoksid og silisiumnitrid, etc.

Våre hovedprodukter inkluderer: silisiumkarbid etseskive, silisiumkarbid båtsleep, silisiumkarbid wafer båt (fotovoltaisk og halvleder), silisiumkarbid ovnsrør, silisiumkarbid cantilever padle, silisium karbid chucker, silisium karbid bjelken, samt Ta CVD SiC belegg, samt Ta CVD belegg. belegg. Produktene som hovedsakelig brukes i halvleder- og fotovoltaisk industri, som utstyr for krystallvekst, epitaksi, etsing, emballasje, belegg og diffusjonsovner, etc.
ca (2)