SiC-belegg Induktivt oppvarmet fat Epi-system

Kort beskrivelse:

Semicera tilbyr et omfattende utvalg av susceptorer og grafittkomponenter designet for ulike epitaksereaktorer.

Gjennom strategiske partnerskap med bransjeledende OEM-er, omfattende materialekspertise og avanserte produksjonsevner, leverer Semicera skreddersydde design for å møte de spesifikke kravene til din applikasjon. Vår forpliktelse til fortreffelighet sikrer at du får optimale løsninger for dine epitaksereaktorbehov.

 

 

 


Produktdetaljer

Produktetiketter

Vårt firma tilbyrSiC beleggprosesstjenester på overflaten av grafitt, keramikk og andre materialer ved CVD-metoden, slik at spesielle gasser som inneholder karbon og silisium kan reagere ved høy temperatur for å oppnå høyrente Sic-molekyler, som kan avsettes på overflaten av belagte materialer for å danne enSiC beskyttelseslagfor epitaksy fat type hy pnotic.

 

Hovedtrekk:

1. Høy renhet SiC-belagt grafitt

2. Overlegen varmebestandighet og termisk jevnhet

3. FintSiC krystallbelagtfor en jevn overflate

4. Høy holdbarhet mot kjemisk rengjøring

 
Tønnesusceptor med SiC-belegg i halvleder

Hovedspesifikasjoner forCVD-SIC belegg

SiC-CVD-egenskaper

Krystallstruktur FCC β-fase
Tetthet g/cm³ 3.21
Hardhet Vickers hardhet 2500
Kornstørrelse μm 2~10
Kjemisk renhet % 99,99995
Varmekapasitet J·kg-1 ·K-1 640
Sublimeringstemperatur 2700
Feleksural styrke MPa (RT 4-punkts) 415
Youngs modul Gpa (4pt bøy, 1300 ℃) 430
Termisk ekspansjon (CTE) 10-6K-1 4.5
Termisk ledningsevne (W/mK) 300

 

 
2--cvd-sic-renhet---99-99995-_60366
5----sic-crystal_242127
Semicera Arbeidsplass
Semicera arbeidsplass 2
Utstyr maskin
CNN-behandling, kjemisk rengjøring, CVD-belegg
Vår tjeneste

  • Tidligere:
  • Neste: