Egendefinert ICP-skuff for halvledere (etsing)

Kort beskrivelse:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. er en ledende leverandør som spesialiserer seg på wafer og avanserte halvlederforbruksvarer.Vi er dedikert til å levere høykvalitets, pålitelige og innovative produkter til halvlederproduksjon,solcelleindustrienog andre relaterte felt.

Vår produktlinje inkluderer SiC/TaC-belagte grafittprodukter og keramiske produkter, som omfatter forskjellige materialer som silisiumkarbid, silisiumnitrid og aluminiumoksid og etc.

Som en pålitelig leverandør forstår vi viktigheten av forbruksvarer i produksjonsprosessen, og vi er forpliktet til å levere produkter som oppfyller de høyeste kvalitetsstandardene for å oppfylle våre kunders behov.

 

Produktdetaljer

Produktetiketter

Produktbeskrivelse

Vårt firma tilbyr SiC-beleggingsprosesstjenester ved CVD-metode på overflaten av grafitt, keramikk og andre materialer, slik at spesielle gasser som inneholder karbon og silisium reagerer ved høy temperatur for å oppnå høy renhet SiC-molekyler, molekyler avsatt på overflaten av de belagte materialene, danner SIC-beskyttelseslag.

Hovedtrekk:

1. Høy temperatur oksidasjonsmotstand:

oksidasjonsmotstanden er fortsatt veldig god når temperaturen er så høy som 1600 C.

2. Høy renhet: laget av kjemisk dampavsetning under høytemperatur kloreringsbetingelser.

3. Erosjonsbestandighet: høy hardhet, kompakt overflate, fine partikler.

4. Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.

3

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg

SiC-CVD-egenskaper

Krystallstruktur

FCC β-fase

Tetthet

g/cm³

3.21

Hardhet

Vickers hardhet

2500

Kornstørrelse

μm

2~10

Kjemisk renhet

%

99,99995

Varmekapasitet

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimeringstemperatur

2700

Feleksural styrke

MPa (RT 4-punkts)

415

Youngs modul

Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)

430

Termisk ekspansjon (CTE)

10-6K-1

4.5

Termisk ledningsevne

(W/mK)

300


  • Tidligere:
  • Neste: