Semiceras 4-tommers N-type SiC-substrater er laget for å møte de strenge standardene til halvlederindustrien. Disse underlagene gir et høyytelsesgrunnlag for et bredt spekter av elektroniske applikasjoner, og tilbyr eksepsjonell ledningsevne og termiske egenskaper.
N-type doping av disse SiC-substratene forbedrer deres elektriske ledningsevne, noe som gjør dem spesielt egnet for høyeffekts- og høyfrekvente applikasjoner. Denne egenskapen muliggjør effektiv drift av enheter som dioder, transistorer og forsterkere, hvor det er avgjørende å minimere energitapet.
Semicera bruker state-of-the-art produksjonsprosesser for å sikre at hvert substrat viser utmerket overflatekvalitet og ensartethet. Denne presisjonen er kritisk for applikasjoner innen kraftelektronikk, mikrobølgeenheter og andre teknologier som krever pålitelig ytelse under ekstreme forhold.
Å innlemme Semiceras N-type SiC-substrater i produksjonslinjen betyr å dra nytte av materialer som tilbyr overlegen varmespredning og elektrisk stabilitet. Disse substratene er ideelle for å lage komponenter som krever holdbarhet og effektivitet, for eksempel strømkonverteringssystemer og RF-forsterkere.
Ved å velge Semiceras 4-tommers N-type SiC-substrater, investerer du i et produkt som kombinerer innovativ materialvitenskap med omhyggelig håndverk. Semicera fortsetter å lede bransjen ved å tilby løsninger som støtter utviklingen av banebrytende halvlederteknologier, og sikrer høy ytelse og pålitelighet.
Varer | Produksjon | Forske | Dummy |
Krystallparametere | |||
Polytype | 4H | ||
Overflateorienteringsfeil | <11-20 >4±0,15° | ||
Elektriske parametere | |||
Dopant | n-type nitrogen | ||
Resistivitet | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Mekaniske parametere | |||
Diameter | 150,0±0,2 mm | ||
Tykkelse | 350±25 μm | ||
Primær flat orientering | [1-100]±5° | ||
Primær flat lengde | 47,5±1,5 mm | ||
Sekundærleilighet | Ingen | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Bue | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Forside (Si-face) ruhet (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Struktur | |||
Mikrorørtetthet | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 e/cm2 |
Metallurenheter | ≤5E10atomer/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Frontkvalitet | |||
Front | Si | ||
Overflatefinish | Si-face CMP | ||
Partikler | ≤60ea/wafer (størrelse≥0,3μm) | NA | |
Riper | ≤5ea/mm. Kumulativ lengde ≤Diameter | Kumulativ lengde≤2*Diameter | NA |
Appelsinskall/groper/flekker/striper/ sprekker/forurensning | Ingen | NA | |
Kantspon/innrykk/brudd/hex-plater | Ingen | ||
Polytype områder | Ingen | Akkumulert areal≤20 % | Akkumulert areal≤30 % |
Lasermerking foran | Ingen | ||
Ryggkvalitet | |||
Avslutning bak | C-ansikt CMP | ||
Riper | ≤5ea/mm, Kumulativ lengde≤2*Diameter | NA | |
Ryggdefekter (kantskår/innrykk) | Ingen | ||
Ruhet i ryggen | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Lasermerking bak | 1 mm (fra øvre kant) | ||
Kant | |||
Kant | Chamfer | ||
Emballasje | |||
Emballasje | Epi-klar med vakuumemballasje Multi-wafer kassettemballasje | ||
*Merknader: "NA" betyr ingen forespørsel. Elementer som ikke er nevnt kan referere til SEMI-STD. |