Egenskaper og fordeler
1. Nøyaktige dimensjoner og termisk stabilitet
2.Høy spesifikk stivhet og utmerket termisk jevnhet, langvarig bruk er ikke lett å bøye deformasjon;
3. Den har en glatt overflate og god slitestyrke, og håndterer dermed brikken trygt uten partikkelforurensning.
4. Silisiumkarbidresistivitet i 106-108Ω, ikke-magnetisk, i tråd med anti-ESD-spesifikasjonskrav;Det kan forhindre akkumulering av statisk elektrisitet på overflaten av brikken
5. God varmeledningsevne, lav ekspansjonskoeffisient.